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產品展示

產品名稱:光學3D表面輪廓儀
市場價:元
產品詳情
影像系統:1024×1024(2048×2048,2592×1944可選)
光學Zoom:1×,(0.75×,0.5×可選)
干涉物鏡:2.5×,5×,10×,20×,50×
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電控
XY橫向分辨率:≤0.4μm
Z軸行程:≥100mm
Z向分辨率:0.1nm
單次Z向掃描范圍:10.3mm,厚度重復性≤1nm
Z向掃描速度:≥45μm/s
可測樣品高度:≥100mm
可測樣品反射率:0.05%-100%
水平調整:±5°
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度<0.7%,重復性<0.1% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
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